產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER
當前位置：首頁
產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3
產(chǎn)品簡介
●非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測●采用分光干涉法實現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性●可進行高速的即時研磨檢測●可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測●可對應長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設備中●體積小、省空間、設備安裝簡易●可對應線上檢測的外部信號觸發(fā)需求●采用最適shi合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得專zhuan利)●可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)
產(chǎn)品分類
相關文章
即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板(強酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化
| SF-3 | |
|---|---|
| 膜厚測量范圍 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
| 膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
| 重復精度 | 0.001% 以下 |
| 測量時間 | 10msec 以下 |
| 測量光源 | 半導體光源 |
| 測量口徑 | Φ27μm※2 |
| WD | 3 mm ~ 200 mm |
| 測量時間 | 10msec 以下 |
※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm
上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務熱線： 021-61052039
公司地址： 上海市浦東新區(qū)疊橋路456弄創(chuàng)研智造C7區(qū)301室
Copyright © 2025 上海波銘科學儀器有限公司 AlL Rights Reserved
備案號：滬ICP備19020138號-2
技術支持：化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml
關于我們
公司簡介 企業(yè)文化 榮譽資質(zhì) 聯(lián)系我們快速通道
產(chǎn)品中心 新聞中心 技術文章 在線留言推薦產(chǎn)品
OPTM 系列顯微分光膜厚儀 半導體晶圓缺陷檢測儀 ELSZ-2000系列ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統(tǒng) RU120便攜式拉曼光譜儀
上一個：
返回列表